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一、用途
BM-SG12BD 高級(jí)透反射顯微鏡(明/暗場(chǎng))是針對(duì)半導(dǎo)體工業(yè)、硅片制造業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、冶金工業(yè)需求而開(kāi)發(fā)的,作為高級(jí)透反射顯微鏡用戶(hù)在使用時(shí)能夠體驗(yàn)其超強(qiáng)性能,可廣泛應(yīng)用于油脂、半導(dǎo)體、FPD、電路封裝、電路基板、材料、鑄件/金屬/陶瓷部件、精密模具的檢測(cè)。
本儀器采用了落射和透射兩種照明形式,在落射照明下可進(jìn)行明暗場(chǎng)觀察和DIC觀察、偏光觀察。在透射光下作明場(chǎng)觀察。穩(wěn)定、高品質(zhì)的光學(xué)系統(tǒng)使成像更清晰,襯度更好。符合人機(jī)工程學(xué)的設(shè)計(jì),使您在工作中感到舒適和放松。
二、技術(shù)規(guī)格
1、目鏡:
類(lèi) 別 | 放 大 倍 數(shù) | 目視場(chǎng)直徑(mm) | 備注 |
超寬視場(chǎng)平場(chǎng)目鏡 | 10X | Φ25 | |
十字分劃目鏡 | 10X | Φ20 | 0.1mm十字分劃板 |
2、金相物鏡(明暗場(chǎng)):
類(lèi) 別 | 放大倍數(shù) | 數(shù)值孔徑(NA) | 系 統(tǒng) | 工作距離(mm) |
超長(zhǎng)工作距離 | 5X | 0.1 | 干 | 29.4 |
平場(chǎng)無(wú)限遠(yuǎn) | 10X | 0.25 | 16 | |
明/暗場(chǎng)物鏡 | 20X | 0.4 | 10.5 | |
50X | 0.55 | 5.1 |
3、金相顯微鏡的總放大倍率:
物 鏡 | 目 鏡 | 鏡筒系數(shù) | 總放大倍數(shù) |
5X | 10X | 1X | 50X |
10X | 100X | ||
20X | 200X | ||
50X | 500X |
4、觀察鏡筒:30o鉸鏈?zhǔn)饺跨R筒(可以連接攝像數(shù)碼裝置)
5、機(jī)械筒長(zhǎng):無(wú)限遠(yuǎn)系統(tǒng)∞
6、鏡筒透鏡f=200mm
7、物鏡轉(zhuǎn)換器:帶DIC插孔的大四孔轉(zhuǎn)換器
8、瞳距:50mm-75mm
9、載物臺(tái): 雙層移動(dòng)平臺(tái),平臺(tái)尺寸:189mmX160mm,移動(dòng)范圍:80mmX50mm
10、濾色片: 濾色片(綠、藍(lán)、中性)
11、聚光鏡: N.A=1.25阿貝聚光鏡,帶可變孔徑光闌和濾色片
12、調(diào)焦裝置:粗微動(dòng)同軸調(diào)焦,微動(dòng)格值0.002mm
13、偏光裝置:檢偏鏡可360度旋轉(zhuǎn)。起偏鏡、檢偏鏡均可移出光路
14、檢測(cè)工具:標(biāo)準(zhǔn)標(biāo)尺:0.01mm測(cè)微尺
15、光源:
(1)透射照明:科勒照明鹵素?zé)?2V50W,寬電壓AC85V—260V,亮度連續(xù)可調(diào)
(2)反射照明:鹵素?zé)?2V50W,寬電壓AC85V—260V,亮度連續(xù)可調(diào)、帶孔徑光闌和視場(chǎng)光欄
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